Система для измерения толщины полупроводниковых пластин
Точность измерения толщины: ±0,5 мкм
Размер пластины: стандартный 4", 6"
Производительность: 220 – 240 пластин в час
В интернет-магазине СТАНКИТ вы можете купить высокоточную лазерную систему для измерения толщины и плоскостности полупроводниковых пластин HGTECH Wafer Thickness Measuring Series.
Особенности
- Для измерения пластин была разработана спектральная конфокальная измерительная система.
- Высокая скорость измерения – около 30 секунд.
- Измерение выполняется с точностью до ±1 мкм и повторяемостью: 0,2 мкм. Диапазон толщины – от 0 до 1 мм.
- Оборудование используется для измерения полупроводниковых необработанных и эпитаксиальных пластин и подложек величиной от 4 до 8 дюймов.
- Станок разработан и произведен компанией HGTECH – одним из крупнейших в Китае поставщиков лазерной техники.
Наши специалисты ответят на все интересующие вопросы о характеристиках и цене лазерной установки HGTECH Wafer Thickness Measuring Series, а также помогут вам заказать этот товар.
Чтобы приобрести HGTECH Wafer Thickness Measuring Series, необходимо его заказать. Есть несколько сценариев того, как это можно сделать.
- Выбор оборудования. Вместе с нашим специалистом вы подбираете оборудование и уточняете необходимые параметры комплектации станка.
- Заключение договора. Обсуждаем комплектацию оборудования и окончательно рассчитываем его стоимость.
- Оплата. При покупке оборудования со склада производится 100% оплата. При заказе оборудования «под заказ» — аванс 50%, остальная сумма оплачивается после прибытия станка на наш склад.
- Трехэтапная проверка качества. Все оборудование проходит три стадии проверки: на производстве в Китае, на складе в России и перед отправкой покупателю.
- Доставка или самовывоз. Мы доставляем оборудование по всей России и СНГ, гарантируя конкурентоспособные цены на доставку. Также доступен самовывоз.
Мы работаем с физическими и юридическими лицами. И предоставляем сразу два варианта оплаты.
- Наличные. Вы подписываете товаросопроводительные документы, расплачиваетесь денежными средствами, получаете товар и чек.
- Безналичный расчет. Менеджер пришлет договор и счет для оплаты.
Доставляем товары по РФ
Доставка тяжелых станков это специфическая логистическая задача. Нужно обеспечить его сохранность, застраховать от возможных повреждений, грамотно загрузить и разгрузить транспортное средство.
Наш логист имеет большой опыт в доставке крупногабаритных тяжелых станков.
Мы готовы самостоятельно доставить оборудование на вашу производственную площадку.
Однако, если вам удобнее самостоятельно забрать приобретенное оборудование, у вас не будет проблем.
Порядок доставки
| Размер пластины | 4", 6" |
| Количество боксов | Двухэтажные, 14 шт. |
| Метод загрузки и разгрузки | Робот, картографическое сканирование |
| Движущаяся платформа | Ход по оси X – 150 мм, повторяемость ±0,1 мкм Ход по оси Y – 150 мм, повторяемость ±0,1 мкм |
| Производительность | 4" – 240 пластин в час 6" – 220 пластин в час |
| Функция обнаружения | Толщина пластины (с покрытием), TTV, коробление |
| Точность измерения толщины | ±0,5 мкм, повторяемость: 0,1 мкм (непрерывное тестирование 25 штук) |
| Диапазон толщины | ±1 мм |
| Точность теста TTV | ±0,5 мкм, повторяемость 0,2 мкм |
| Точность теста на коробление | ±2 мкм, диапазон испытаний ±600 мкм, повторяемость 1 мкм |
| Спецификация источника питания | 220 В переменного тока, 50 Гц |
| Требования к источнику воздуха | Сжатый воздух 0,5 – 0,7 МПа, без видимых водяных паров и жиров |
| Условия окружающей среды | Температура 15°C – 40°C, влажность 30% – 70% (без инея) |
| Габаритные размеры | 1800x1300x2250 мм |
